SA-M, SA-H - 合成系機械泵油  
生產商: MORESCO 株式會社
品牌:  NEOVAC
產地:  日本
 

合成真空泵油,具有極佳與水的分離度、高耐熱耐酸化、

抗活躍性氣體、和具有極低的飽和蒸氣壓,使用期更長,

因此,特別適用於半導體製造裝置等的活性氣體排氣系統。

SA-H 更是部分激光切割機的真空泵之指定使用真空泵油。

       
 
  SA-M SA-H
蒸氣壓(50°C) Pa 4 x 10E-4 以下 4 x 10E-5 以下
Torr 3 x 10E-6 以下 3 x 10E-7 以下
引火點 °C 260 300
ISO 黏度等級 68 100
動黏度(40°C) cSt 65.0 95.0
包裝: 1 公升 / 罐
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